第263章 工藝最高達到了45nm

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首次商談合作并沒有功。

但合作的心,左鋒是有的。

因為于歆然說得也不錯,雖然在技之上,艾爾的平衡車也不錯,質量控制也很好,但在這個時間段,市場是非常小眾的。

賽格被收購之后,顯然有了更多的資金去研發新的平衡車。

而大米的一向做法,就是價格。

說不定,到時候,又來一個1999元的平衡車,那真的是日了狗了。

真的不要一點兒利潤了嗎?

因此,左鋒的話也沒有說死,雙方友好散場,于歆然則是表示將讓張菁繼續跟進談判。

商場的事,就是這樣,很多時候不可能那麼順心順意,一下子就收購了,或是投資了,需要慢慢地洽談。

將張菁等人打發回了京都,于歆然帶著林云往魔都而去。

,可是在那兒待了好些天了呢。

新婚剛小別,很是想念了。

---づど---

此時,在魔都微的江在整機研發上又忙活了五六天。

科宇源的激,雖然還沒有非常完善,但基本上能夠發出193nm的準分子激,這個部件,在副總江磊的帶領下,初步整了下,已經發到了魔都微電子。

而長春機所的鏡系統也已經運輸到了。

現如今,江正帶著刻機研發主管連廣浩一眾工程師進行集中裝配和驗證。

如果只是他們,那估計裝配都是一個問題,但是江在,他們就覺做事順暢了許多。

任何部件,應該裝配哪里,各類系統的連接線路,要怎麼布局,在江的心頭,都有著數,讓大家有不懂的、有疑問的,江一說就好。

昏黃的燈下,江等人穿著無塵服,開始了剛剛裝配完的樣機實驗。

這是第一個樣機,更多是作為整機裝配試驗和驗證功能用。

“雙工件臺的控制系統沒問題了吧?”看著眼前這個龐然大,江也是心頭激不已。

控制系統的工程師抬手比了一個ok。

這個系統,在雙工件臺年初到公司之后,就一直在開發試驗,整機裝配期間也不斷完善,以適應全新的部件。

看向連廣浩,“行,咱們開機試試。”

連廣浩握著拳頭,張兮兮的開了機。

通電之后,邊上簡陋的控制臺屏幕慢慢啟著。

整個機子,雖然沒有漂亮的外觀,但基本的部件是全了。

七八個人守著,按照各自的分工安排,記錄著數據況。

每一塊部件、系統的功能,都需要保證能正常使用。

試驗人員拿著兩塊12寸的晶圓放了上去,設備作師開始了作。

刻過程中,需要人工的地方很

在此之前,在旋涂機中已經旋涂了刻膠,烘后就等著刻曝了。

通過激發,罩,將上面的圖形照后進鏡,而后投在了晶圓上面的刻膠上。

因為還是整機初步測試,江并沒有把浸沒系統加上。

刻膠對深紫外線非常敏,照后產生分解反應,形壑”,而后通過顯影、烘干等作,就可以進行刻蝕了。

試驗的是一個簡單的測試電路圖形,在控制系統下,雙工件臺快速而又輕微的移著,一塊一塊的曝

一張12寸的晶圓,據芯片die的尺寸不同,能夠刻不同數量的芯片。

就如現在試驗的,可以切出將近200枚。

很快,在罩上的圖案刻好了。

試驗人員取出晶圓,進行顯影、烘干、刻蝕。

期間還需要用掉不的超純水,用這些水,把晶圓上的雜質給清洗干凈。

有些無聊的刻流程,但又是真的非常的神奇。

通過刻,將圖案刻在了晶圓上,幾十納米線寬,不通過顯微鏡,本看不到。

而后再通過作,讓銅等金屬在刻蝕的區域外延生長,做了納米級的電路。

小小的一個芯片中,麻麻的布著電路。

三個小時后,試驗的晶圓好了,在此前每個步驟都有人員測試參數,這會兒更是開始了詳細測試和驗證。

“……工藝最高達到了45nm!”雖然是蒙著,但連廣浩看著這檢測儀上的參數,興的跳了起來!

這還是干式刻呢,如果通過浸沒式的刻呢,是不是能夠突破28nm了?

甚至通過多次曝,達到更高的工藝?!

連廣浩這一句話,讓場上的人頓時歡呼了起來!

“真的嗎?我們居然功了?!”

“天啊,咱們搞出來了!”

“江董牛!”

……

搖頭笑笑,這些小伙子,還是太年輕了,他剛也看了(順帶模擬了),發現只是很部分柵極的最小線寬達到了45nm,而且極不均勻。

這里頭,既有刻工藝還不純,也有可能后續的一些工藝流程還有缺陷。

不過,這會兒,大家都在興之中,他們已經忙活了大半年了,有這麼一個好消息刺激刺激他們也好。

“這是一個巨大的進步,離我們的浸沒式刻機又近了一步。”江開口道,“不過,大家也別放松了,咱們還有很多要改進的地方。”江提醒道。

不僅如此,浸沒式刻,也不是那麼容易的。

除了超純水,還需要配套的工藝技

這一塊,需要起耳機電的工程師一起來協助。

而他們,還需要過幾天才能調人過來。

另外,現在是研發試驗階段,超純水這些,購買就可以了。但真正的生產線,需要大批量生產的,那需要的超純水就多了,還得配上循環的超純水制備、儲存設備呢!

這一塊,技在日國等國家手里。

連廣浩開心道,“明白,江董,在您帶領下,我們相信,再有一兩個月,咱們一定可以把浸沒式刻機搞出來!”

“嗯,有信心就好。現在都快下班了,大伙把數據整理收集好,另外,保要求,相關試驗的況、數據參數,不能外傳。”江最后提醒道。

“知道的。”

“明白!”

聽到下班的消息,大伙松了口氣,一致的回了句,這才開始離去。

再細細的看了下,隨后出了無塵車間。

換了服后,江拿到了自己的手機。

手機之上,有著于歆然的兩個未接電話。

“喂,歆然?”

“江,你忙好啦?”電話那頭,于歆然的聲音非常開心。

“是,剛從實驗室里出來呢。你呢,在忙啥?”

“我呀,你先猜猜我在哪?”于歆然笑著道。

愣了下,“你來魔都了?”

“嗯嗯!”于歆然滿懷欣喜地點點頭應道,隨后聲音小了下來,“我想你了……”

……

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